对照明均匀性有影响，所以视场能量均匀性仿真是基于不设置光阑阵列条件进行的。结果显示，积分均匀性为0.884%。
由系统仿真图12和图13的结果可以看出，视场光阑阵列的确发挥了作用，系统形成了标准梯形照明视场。而视场周围的弥散是由后会聚镜组造成的，考虑到实际工作情况下，在掩模图形区域的周围存在铬边进行遮挡，所以这种程度的弥散不会影响实际工作。
3 结 论
提出的视场形成方案较现有的方案在照明系统中省去了整个中继镜组结构，很大程度上节省了系统的成本并降低了系统的复杂程度。同时将额外的热负担最大程度地留在照明系统的前半部分（梯形光阑阵列位置），从而缓解了物镜的热负担，降低了物镜热效应。从最终的系统仿真结果可以看出，使用视场光阑阵列配合微透镜阵列匀光，在理论上完全可以实现梯形的均匀照明视场。
但是作者在实际工作中发现，虽然微透镜阵列应用于均匀照明领域的情况非常普遍，但是微透镜本身的像差（主要是畸变）也会对最终的照明视场均匀性和视场形状造成影响，尤其是在大焦距后会聚镜组的情况下。考虑如何消除或补偿微透镜本身的像差所导致的照明视场均匀性恶化，在工程应用上有较大的意义。
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